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静電気除去システムの用語説明/静電気センサとは |
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用語説明 |
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除電時間 |
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150mm×150mmのプレートモニタ（金属板）を帯電させ、＋1000Vから＋100Vになるまでの所要時間を除電時間といいます。（ブロアタイプの除電器の場合）
除電能力の基準として、EOS/ESD規格に準じて表すのが一般的です。 |
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イオンバランス |
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| 対象物を0Vに保つ能力のことです。イオンバランスが悪いと正確に除電できなかったり、逆帯電させたりします。 |
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静電気センサ |
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測定原理 |
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これまでの静電気測定は、表面電位センサによる対象物との静電誘導を利用した測定が一般的でしたが、この測定方法では対象物と表面電位センサとの距離が変化すると、測定値が大きく変化するという問題点がありました。
SK（キーエンス製）では、新たに独自開発したV.S.S.方式を採用することで、距離による測定誤差を抑え、ワイドレンジ測定（0〜±30kV）と高精度測定（0〜±5kV）の両立を可能にしました。 |
V.S.S.（Voltage Scanning
Search）方式
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| SKのセンサヘッドに内蔵された表面電位センサに電圧を一定範囲内で階段状に変化させながら印加し、対象物との電位差が0Vとなるポイントを内部演算で算出する方式をV.S.S.方式といいます。表面電位センサに対象物と同等の高電圧を印加させずに、高精度に対象物の表面電位を測定できることがこの方式の特長です。 |
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印加電圧の変化にともない、表面電位センサからは対象物と表面電位センサとの電位差に比例した信号が出力されます。
印加電圧と対象物の表面電位が等しくなったときには、表面電位センサからの出力は0Vになります。
表面電位センサからの出力信号を利用して、出力信号が0V、すなわち対象物と表面電位センサとの電位差が0Vになるポイントをマイコンによる内部演算で求めます。 |
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