静電気/クリーン機器

これまでの静電気測定は、表面電位センサによる対象物との静電誘導を利用した測定が一般的でしたが、この測定方法では対象物と表面電位センサとの距離が変化すると、測定値が大きく変化するという問題点がありました。
SK（キーエンス製）では、新たに独自開発したV.S.S.方式を採用することで、距離による測定誤差を抑え、ワイドレンジ測定（0～±30kV）と高精度測定（0～±5kV）の両立を可能にしました。

印加電圧の変化にともない、表面電位センサからは対象物と表面電位センサとの電位差に比例した信号が出力されます。
印加電圧と対象物の表面電位が等しくなったときには、表面電位センサからの出力は0Vになります。
表面電位センサからの出力信号を利用して、出力信号が0V、すなわち対象物と表面電位センサとの電位差が0Vになるポイントをマイコンによる内部演算で求めます。