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顕微鏡の種類
測定顕微鏡とは
測定顕微鏡
- 金属顕微鏡や実体顕微鏡を筐体として計測用の顕微鏡として開発された顕微鏡。
- ステージの移動量を数値化することでXYZ方向の形状の測定が可能。1μm程度の測定精度が出る。ただし人の目で寸法を合わせるので人による誤差が発生する。
- ステージの仕様により50mmから200mm前後の形状が測定できる。
- 価格は100万円～500万円。
