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寸法測定器とは/分類 |
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寸法測定器とは
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| 寸法測定器とは、円柱物体の外径や、物体の高さ、幅、厚み等を測定するものです。寸法測定にとどまらず、振れ幅や位置決め等にも利用できます。測定方式として、レーザ光を走査し物体によってできる影の部分の時間から演算する方式と、レーザ光を物体に照射し物体によってできる影の部分を、CCDイメージセンサでとらえる方式があります。このレーザ光を走査する方式と、CCDイメージセンサを用いた方式の原理・特長について説明します。 |
寸法測定器の分類
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| 検出方式 |
高精度CCD方式 |
スキャン方式 |
CCD方式 |
2次元CCD方式 |
| 特長 |
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高速・高精度 |
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透明体の測定が
可能 |
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高精度 |
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透明体の測定が可能 |
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小型センサ
ヘッド |
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2次元の複数ヶ所の同時測定 |
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内径、半径、角度などの測定 |
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| 外観 |
センサヘッド |
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コントローラ
（アンプ
ユニット） |
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パソコン用の専用測定ソフトウェアを使用 |
型式
(参考：キーエンス製) |
LS-7000シリーズ |
LSシリーズ |
VGシリーズ |
VMシリーズ |
項目
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表示分解能 |
0.01μm |
0.05μm |
1μm |
1μm |
| 測定精度 |
±0.5μm |
±2μm |
0.1％ of F.S.
（FS＝30mm） |
±5μm |
| 測定範囲 |
0.04〜65mm |
0.08〜120mm |
0.5〜35mm |
0.3〜40mm |
サンプリング
速度 |
2400回/秒 |
1200回/秒 |
780回/秒 |
約1秒 |
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