測定対象物が静止しているときでも、アナログ出力電圧を拡大してみると内部ノイズにより微小なゆらぎが発生しています。このゆらぎの幅を分解能といい、幅が小さいほど分解能が良いとか高いといいます。
例）±0.1％ of F.S.
測定範囲の1/1000単位で読み取れることを示します。デジタル信号処理方式における分解能とは、その測定値の最小読み取り値のことで、最小読み取り値はその機器が表示できる最小数字のことです。

変位センサのアナログ出力電圧は距離に対して比例の関係にあり、ほぼ直線的です。しかし理想直線に対して、わずかなズレがあり、このズレが理想直線に対してどの程度の範囲にあるかを±1％ of F.S.などと表示します。
デジタル信号処理方式では、実際の変位量と測定値との間には、わずかな誤差があります。この誤差と測定範囲との割合のことを直線性といいます。

測定対象物が連続的に回転あるいは振動するような場合、出力量は実際の変位の速度（周波数）に追従できる限界があり、出力が－3dB（約70％）に減衰したときの周波数を応答周波数と規定しています。

アナログ出力の応答時間とは、測定対象物がある点からある点へ瞬間的に動いたとき、出力が最終の安定値の90％に達するまでの時間をいいます。

基準距離

レーザ式変位センサにおいてセンサヘッドの投光部前面から測定範囲の中心までの距離で、このときアナログ出力電圧および表示値は0Vになるように設計されています。

ゼロ調整（範囲）

右図の実線が本来の出力電圧の状態としたとき、この電圧にプラス○○V、またはマイナス○○Vという形でシフトさせる調整をいいます。マスターワークなどの電圧を原点として0Vにもどす用途の多いことからゼロ調整と呼んでいます。範囲は、プラス、マイナスにシフトできる範囲を示します。

スパン調整（範囲）

距離（変位量）と出力電圧の比率を補正する機能です。右図の実線を出力電圧の本来の状態としたとき、Aのように同じ距離で出力電圧が大きい、Bのように同じ距離で出力電圧が小さい、という状態へ変えることができます。対象物の色や材質の違いで距離：電圧が1：1とならない場合があります。この時、スパン調整で出力電圧の補正を行ないます。範囲は、本来の出力電圧に対する倍率として表しています。