変位センサ・変位計
透過光方式の測定原理
構造

基本原理
高輝度GaNグリーンLEDから発せられた光は、特殊拡散ユニット(※1)及びコリメータレンズを通して均一な平行光となり測定対象物に照射されます。この時、測定対象物によって生じる影の映像がテレセントリック光学系(※2)を通してHL(High
Speed Linear)-CCD上に高精度に結像されます。HL-CCDから送り出される受光信号を元にコントローラ部のエッジ検出プロセッサ及びCPUによって演算を行ない測定対象物の寸法を表示、出力します。LS-7030M/LS-7500(キーエンス製)の組み合わせで使用した場合は、ビームスプリッターで分割された光学系により測定対象物のモニタ画像がCMOSイメージセンサ上に結像され、映像信号としてコントローラ上のTFT液晶モニタに表示されます。(ターゲットビューワ機能)
※1特殊拡張ユニットとは?
特殊拡散ユニットとは、高輝度グリーンLEDから発せられた光を、光量ムラのない均一な光源にするための拡散板のことで、LS-7000シリーズ(キーエンス製)用に専用設計されたものです。特殊拡散ユニットによる、『光量ムラのない均一な光源』がLS-7000シリーズの高精度化に貢献しています。
※2テレセントリックとは?
テレセントリックレンズを使用した特殊な光学系です。特徴は、測定対象物の位置が投受光間方向に移動してもCCD上に写る像の大きさが変化しないことです。通常のレンズでは、物体が接近すれば大きく写り、離れれば小さく写るため、投光~受光間の位置によって測定値は変化してしまいますが、テレセントリックレンズを使用すると、測定対象物が投受光間方向に移動しても測定値に影響がありません。
ターゲットビューワ機能
LS-7030M/LS-7500の組み合わせで使用した場合は、ビームスプリッターで分割された光学系により測定対象物のモニタ画像がCMOSイメージセンサ上に結像され、映像信号としてコントローラ上のTFT液晶モニタに表示されます。測定位置の確認が、モニタ上ですばやく簡単にできます。








