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変位センサ・変位計

レーザフォーカス方式(LT)の測定原理

基本原理

光源から出たレーザ光はハーフミラー、対物レンズを通り対象物上で小さなスポットとなります。
そのレーザ光は反射して再びハーフミラーまで戻り、直角に反射してピンホールの位置で一点に集光されるため、ピンホールを通過し受光素子に到達します。
対象物の距離が変動すると、反射した光はピンホールの位置で集光されずぼやけるため、ほとんどの光はピンホールを通過できず、受光素子にはわずかな光しか到達しないので受光信号として感知できません。
LTシリーズはこの原理を応用し、対物レンズを音叉によって機械的に動かすことにより、レンズのどの位置にあるとき、光がピンホールを通過するかを検出することで対象物までの距離を測定します。
この原理の特長として、光量や反射角度ではなく、その対象物と焦点の合うレンズ位置を検出しているため、色、傾き、粗さはもちろんのこと、ワークへのもぐり込み光の影響も排除できます。

「基本原理」の説明画像

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