基本原理
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| レーザ変位計一般に広く使われている三角測距方式と異なる、共焦点の原理と音叉を組み合わせた新しい非接触測定方式です。 |
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| 1. |
光源から照射されたレーザ光は音叉により高速で上下動する対物レンズを通り、対象物上で焦点を結びます。 |
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| 2. |
対象物により反射した光は､ハーフミラー、ピンホールを通過し、受光素子に到達します。 |
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| 3. |
共焦点原理により、レーザ光が対象物で焦点を結んだ時に、その反射光はピンホールの位置で一点に集光され、受光素子に入光します。 |
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| 4. |
その時の音叉の位置をセンサで測定することにより、対象物までの距離を正確に測定が可能になります。 |
