変位センサ・変位計
CCD(CMOS)レーザ変位センサ(LK-G/IL)の測定原理
CCD(CMOS)レーザ変位センサは、三角測距方式を採用したレーザ式変位センサです。受光素子にCCDまたはCMOSを使用していることが特徴です。
CCD(CMOS)方式では、CCD(CMOS)の各画素ごとの光量を検出できます。このため、対象物の表面の影響によって下図のようにスポット内に光量のばらつきが発生した場合でも光量のピークの位置を正確に検出できます。
これにより、対象物表面の影響による誤差を大幅におさえることができます。
CCD(CMOS)方式では、CCD(CMOS)の各画素ごとの光量を検出できます。このため、対象物の表面の影響によって下図のようにスポット内に光量のばらつきが発生した場合でも光量のピークの位置を正確に検出できます。
これにより、対象物表面の影響による誤差を大幅におさえることができます。
受光素子上のスポット内の光量分布



