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CCDレーザ方式の測定原理 |
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CCDレーザ変位センサは、三角測距方式を採用したレーザ式変位センサです。受光素子にCCD（Charge Coupled Device：電荷転送素子）を使用していることが特徴です。
CCD方式では、CCDの各画素ごとの光量を検出することができます。このため、対象物の表面の影響によって下図のようにスポット内に光量のバラツキが発生した場合でも光量のピークの位置を正確に検出することができます。これにより、対象物表面の影響による誤差を大幅におさえることができます。 |
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受光素子上のスポット内の光量分布
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