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渦電流式変位センサとは |
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測定原理
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高周波磁界を利用したものです。
センサヘッド内部のコイルに高周波電流を流して、高周波磁界を発生させます。
この磁界内に測定対象物（金属）があると、電磁誘導作用によって、対象物
表面に磁束の通過と垂直方向の渦電流が流れて、センサコイルのインピー
ダンスが変化します。
渦電流式変位センサは、この現象による発振状態の変化により、距離を測定します。 |
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| キーエンスの渦電流式変位センサは以下の2種類の原理を用いています。 |
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[キーエンス製 EX-500シリーズの場合]
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対象物とセンサヘッドの距離が近くなるにつれ、発振の振幅は小さく、基準波形との位相ズレは大きくなっていきます。
この振幅と位相の変化を検出することにより、距離とほぼ比例した値が得られます。
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| さらに、デジタル処理で、測定対象物の材質に合わせて、高精度リニアライズ補正を行ない、距離に比例したリニアな出力を得ています。 |
[キーエンス製 EX-Vシリーズ/EX-200シリーズ/ASシリーズの場合]
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対象物とセンサヘッドの距離が近づくにつれ、渦電流が大きくなり、発振振幅は
小さくなります。この発振振幅を整流して直流電圧の変化としています。
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整流された信号と距離とは、ほぼ比例関係ですが、リニアライズ回路で、直線性の補正を行ない、距離に比例したリニアな出力を得ています。 |
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アナログ電圧出力
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上手な使い方 |
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センサヘッドの耐水性対策
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渦電流式変位センサは、磁界を用いて距離を測定するため非金属物体の影響を受けません。また、センサの構造上、防水・防塵性に優れているため、耐環境性の高い方式といわれています。しかしながらEX/ASシリーズ（キーエンス製）のセンサヘッドは、完全防水ではありませんので、水や油が多くかかるところで使用される際は、下記のような対策を施されることをおすすめします。 |
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防水対策例
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相互干渉について
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同一型式のセンサを接近して設置した場合、他方のセンサの高周波磁界の影響で、分解能が悪くなることがあります。これを相互干渉といいます。 |
相互干渉を防止するには
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相互干渉防止機能を使用する。（EX-500シリーズ/EX-Vシリーズ：キーエンス製） |
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干渉しない距離だけ離して設置する。（各機種の項に記載） |
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異なる型式のセンサを組み合せる。
（EX-200、ASシリーズ：キーエンス製、詳細については別途お問い合わせください） |
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