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変位センサ・変位計
変位センサ（変位計）とは/分類
変位センサ（変位計）とは
変位センサあるいは変位計とは、物体がある位置から他の位置へ移動したとき、その移動量を測定するもので変位にとどまらず、物体の高さ、幅や厚みなどの寸法測定にも利用できます。その移動量（変位量）を測定する方式として、磁界や光、音波を媒体とした非接触式のものとダイヤルゲージや差動トランスなどの接触式の変位センサがあります。それぞれの方式の原理・特長について説明します。
検出方式による比較
| 項目 | 渦電流式 | 光学式 | 超音波式 | レーザ フォー力ス式 |
接触式 |
| 検出対象物体 | 金属 | ほとんどの物体 | ほとんどの物体 | ほとんどの物体 | 固体 |
| 測定距離 |
短い | 普通 | 長い | 短い | 短い |
| 精度 |
高い | 高い | 低い | 高い | 高い |
| 応答速度 |
速い | 速い | 遅い | 普通 | 遅い |
| ほこり、水、油など |
強い | 普通 | 普通 | 普通 | 強い |
| 測定面 |
普通 | 小さい | 大きい | 小さい | 小さい |
変位センサの分類
| 検出方式 |
渦電流式 |
光学式 （三角測距式） |
超音波式 | 接触式 | ||
| 特長 |
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| 汎用・ ロングレンジ |
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| 外観 | センサヘッド |
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| コントローラ （アンプユニット） |
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| 型式 (参考：キーエンス製) |
EXシリーズ | ASシリーズ | LK-G・ILシリーズ | UDシリーズ | GT2・ATシリーズ | |
| 項目 |
対象物 | 金属 | 金属 | 固体・液体 | 固体・液体 | 固体 |
| 繰り返し 精度 |
0.3μm | 1μm | 0.01μm | 0.1mm | 0.1μm | |
| 測定範囲 | 0～10mm 各種 |
0～10mm 各種 |
9～750mm各種 | 60mm～10m 各種 |
1～30mm 各種 |
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| 応答周波数 | 最高18kHz | 最高3.3kHz | 最高392kHz | 最高20Hz | 最高40Hz | |
| 検出方式 | 光学式 （2次元三角測距式） |
光学式 （レーザフォーカス) |
光学式 （分光干渉式） |
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| 特 長 |
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| 外観 | センサヘッド |  |
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| コントローラ （アンプ ユニット） |
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| 型式 （参考：キーエンス製） |
LJ-Gシリーズ | LTシリーズ | SIシリーズ | |
| 項目 | 対象物 | 固体 | 固体・液体 （不透明/透明） |
個体・液体 （不透明/透明） |
| 繰り返し精度 | Z方向（0.2μm） X方向（2.5μm） |
0.01μm | 0.001μm | |
| 測定範囲 | Z方向（15～200mm） X方向（73mm） |
1～30mm各種 | 1mm | |
| サンプリング 周期 |
3.8ms | 640μs | 200μs | |
