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変位センサ・変位計


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変位センサ（変位計）とは/分類

変位センサ（変位計）とは

変位センサあるいは変位計とは、物体がある位置から他の位置へ移動したとき、その移動量を測定するもので変位にとどまらず、物体の高さ、幅や厚みなどの寸法測定にも利用できます。その移動量（変位量）を測定する方式として、磁界や光、音波を媒体とした非接触式のものとダイヤルゲージや差動トランスなどの接触式の変位センサがあります。それぞれの方式の原理・特長について説明します。

検出方式による比較

項目	渦電流式	光学式	超音波式	レーザフォー力ス式	接触式
検出対象物体	金属	ほとんどの物体	ほとんどの物体	ほとんどの物体	固体
測定距離	短い	普通	長い	短い	短い
精度	高い	高い	低い	高い	高い
応答速度	速い	速い	遅い	普通	遅い
ほこり、水、油など	強い	普通	普通	普通	強い
測定面	普通	小さい	大きい	小さい	小さい

変位センサの分類

検出方式

渦電流式

光学式
（三角測距式）
光源：半導体
レーザ

超音波式

接触式

特長

	高分解能・高精度
	センサヘッドが小型
	耐環境性抜群

	あらゆる材質の測定が可能
	距離を離して小さな面積が測定できる

	透明体の測定が可能
	色が変わっても測定への影響がない

	透明体（固体）を高精度に測定できる
	測定ポイントが小さい

汎用・
ロングレンジ

外観

センサヘッド

コントローラ
（アンプ
ユニット）

型式
(参考：キーエンス製)

EXシリーズ

ASシリーズ

LK-G・LK・LC
LBシリーズ

UDシリーズ

ATシリーズ

項目

対象物

金属

固体・液体

固体

繰り返し
精度

0.3μm

1μm

0.01μm

0.1mm

0.16μm

測定範囲

0～10mm
各種

9～750mm各種

60mm～10m
各種

1～10mm
各種

応答周波数

最高18kHz

最高3.3kHz

最高20kHz

最高20Hz

最高40Hz

検出方式

光学式
（2次元走査三角測距式）

光学式
（光波測距式）

光学式
（レーザフォーカス式）

特　長

	瞬時に幅と高さが測れる
	断面形状測定が可能

	長距離ロングレンジ
	小スポット

	あらゆる材質の測定が可能
	表面状態の影響を受けない
	透明体の膜厚測定が可能

外観

センサヘッド

コントローラ
（アンプユニット）

型式
（参考：キーエンス製）

LJシリーズ

LFシリーズ

LTシリーズ

項目

対象物

固体
（不透明体）

固体・液体
（不透明体）

固体・液体
（不透明/透明）

繰り返し精度

Z方向（10μm）
X方向（30μm）

0.5mm

0.01μm

測定範囲

Z方向（80＋15mm）
X方向（30/40mm）

変位モード
（400mm）/
ストロークモード
（15m）

4.7～31mm各種

サンプリング周期

30ms

40ms

640μs

		実績アプリ例集 7大業界・126種類				レーザ変位計ビギナーズガイド vol.1～5

		レーザ変位計用途別測定ガイド vol.1～7				非接触レーザ変位計サポートシート

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