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まるごとわかる流量・圧力センサ/温度制御

圧力センサ

ゲージ圧力と絶対圧力/アナログモニタ出力に関して/
圧力センサ関連用語/圧力換算表

ゲージ圧力と絶対圧力

ゲージ圧
大気圧をゼロとして圧力を表す方法です。
大気圧より高い圧力を正圧、低い圧力を負圧といいます。
絶対圧

絶対真空をゼロとして圧力を表す方法です。

一般的に用いられているのはゲージ圧です。絶対圧は科学計算などで用いられる方法で、単位の後ろに“abs”(例えばmmHg abs)と書いて、ゲージ圧と区別します。

  • 大気圧は、天候、土地の高度等により変動しますから、大気圧をゼロとしたゲージ圧力計の場合、絶対真空でも-101.3kPaを示さないことがあります。

アナログモニタ出力に関して

直線性
圧力センサのアナログ出力電圧は圧力に対して比例の関係にあり、ほぼ直線的です。しかし理想直線に対して、わずかなズレがあり、このズレが理想直線に対してどの程度の範囲にあるかを±1% of F.S.などと表示します。この誤差と測定範囲との割合のことを直線性といいます。
「アナログモニタ出力に関して」の説明画像
AP-V80シリーズ(参考:キーエンス製)

AP-V80シリーズのアナログモニタ出力は4-20mAの出力で、詳細は下記のようになります。

  4mA ~ 20mA
AP-10S 100kPa ~ -100kPa
AP-11S 大気圧 ~ -100kPa
AP-12S 大気圧 ~ 100kPa
AP-13S 大気圧 ~ 1MPa
AP-14S 大気圧 ~ 10MPa
AP-15S 大気圧 ~ 20MPa
AP-16S 大気圧 ~ 50MPa

大気圧補正はアナログ出力に反映されません。

  • 差圧アンプ(AP-V82/V87)使用時は、高速アナログ出力を選択すると、
    上記の表と同様に現在の圧力値(H)が4〜20mAで出力されます。

圧力センサ関連用語

耐圧力
圧力センサに加えることのできる最大の圧力値を示します。この値を越える圧力が加わりますと、感圧素子の再現性がなくなったり、素子の破損につながります。
表示分解能
デジタル表示の最小単位です。例えばキーエンス製AP-31Aの場合、表示分解能は0.1kPaです。
表示は、…-10.0→-10.1→-10.2…というように変化します。
繰り返し精度
一定条件のもとで、圧力を繰り返し加えたときの検出点の誤差を示します。
応答性
圧力が加ってから、出力信号が出るまでの遅れ時間を示します。
温度特性
使用周囲温度範囲内での検出点の変動を表します。
非腐食性ガス
空気中に含まれる物質(ちっ素ガス・二酸化炭素ガスなど)と、不活性ガス(アルゴンガス・ネオンガスなど)などが非腐食性ガスです。キーエンス製APシリーズでは酸素ガス・水素ガスは引火する危険性がありますので使用できません。また、ヘリウムガスは分子構造が非常に小さく、リークしやすいためAPシリーズは使用できません。

圧力換算表

  mmHg mmH2O kgf/cm2 atm bar psi Pa
1mmHg 1 13.60 1.360×10-3 1.316×10-3 1.333×10-3 1.933×10-2 133.3
1mmH2O 7.356×10-2 1 1×10-4 0.968×10-4 0.981×10-4 1.422×10-3 9.8067
kgf/cm2 735.6 10000 1 0.968 0.981 14.22 98067
1atm 760 10332 1.033 1 1.013 14.71 101325
1bar 750.1 10197 1.020 0.987 1 14.50 100000
1psi 51.72 703.1 0.070 0.068 0.069 1 6895
1Pa 7.501×10-3 0.102 1.020×10-5 9.869×10-6 1×10-5 1.45×10-4 1

【参考】
Torr(トール)……絶対真空に近い絶対圧の単位

(例) 1Torr=1mmHg abs
10-3Torr=0.001mmHg abs
mmHg absは項目“ゲージ圧力と絶対圧力”を参照願います。

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