圧力・流量/温度制御

圧力センサとは、空気圧の変化を内部の感圧素子にて電気信号に変換するものです。圧力センサは、あらかじめ設定した圧力値を超えたときに、電気信号として出力するもので、空気圧を利用した吸着確認・着座確認・リークテスト・元圧管理などさまざまな用途に使用されています。

シリコンチップの上に歪抵抗を形成しています。矢印の方向に圧力が加わり、シリコンチップそのものが歪むと歪抵抗の抵抗値が変化します。これを利用して圧力の変化を電気信号に変換します。

シリコンダイヤフラム式 APシリーズ （参考：キーエンス製）	機械式（ブルドン管式など）
圧力ポートを通じてシリコンダイヤフラムに直接圧力が加わり検出します。	ブルドン管の中に加わった圧力によって管全体が伸縮し針を動かします。

圧力センサは、電子式と機械式（ブルドン管式など）に大きく分けられます。従来は機械式が多く使用されていましたが寿命が短いため高精度、長寿命、高速応答などの特長を持つ、電子式が主流となっています。

ステンレスダイヤフラム上に蒸着された歪抵抗が、ステンレスダイヤフラムを介して歪むことによって圧力の変化を電気信号に変換しています。

シングルダイヤフラム式 AP-50/AP-V80シリーズ （参考：キーエンス製）	二重ダイヤフラム式
ステンレスダイヤフラムと一体化した薄膜形半導体歪抵抗により圧力を直接検出します。	薄いステンレスダイヤフラムで受けた圧力をシリコンオイルなどを介してシリコンダイヤフラムのセンサに伝達し圧力を検出します。

ステンレスダイヤフラム式は、シングルダイヤフラムと二重ダイヤフラムに大きく分けられます。従来は、二重ダイヤフラム式が一般的でしたが、ダイヤフラムの厚みがうすく、内部に温度変化による体積変化の大きいシリコンオイルなどが封入されていることにより耐久性、信頼性に欠けていました。シングルダイヤフラム式は、それらの問題点を解消した簡単な構造であり、耐久性、信頼性の向上を実現しました。